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電子氣體在高新技術中的應用

發(fā)布日期:2014-07-17 22:00:00   瀏覽:562次

進入20世紀90年代以后,隨著我國高新技術的快速發(fā)展,計算機工業(yè)對大規(guī)模集成電路、液晶顯示器的需求大量增加;隨著新型能源的發(fā)展,我國大力開拓了多晶硅太陽能電池和薄膜太陽能電池的生產;此外,新型電光源、光電半導體器件(GaAs、InP、AlGaAs)、光纖通訊器件也獲得迅猛發(fā)展,在上述高新產品的生產中,都需要大量高純氣體,以制造出性能可靠的各種器件。

 

大規(guī)模集成電路
化學氣相沉淀:SiH4,NH3,O2,N2O,TEOS(四乙氧基硅)
化學刻蝕:CF4,SF6,NF3,Cl2,CCl,BCl3,KrF,ArF,HBr,HCl
化學摻雜:BF3B2H6,PH3,AsH3

 

液晶屏
化學氣相沉淀:SiH4,SiNx
化學刻蝕:SF6,HCl,Cl2

 

太陽能電池
化學氣相沉淀:SiH4,NH3,NF3
擴散、刻蝕:POCl3,O2,CF4

 

光電半導體
化學氣相沉淀:AsH3,PH3,NH3,N2H2
化學刻蝕:BCl3,Cl2

 

光導纖維
化學氣相沉淀:SiH4,SiCl4,D2,GeCl4
化學刻蝕:CF4,KrF,ArF,Cl2,SF6

 

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